NEWPORT 优铂特 RGV100HL-S 高速精密旋转台
高精度和扭矩转台，360°，无刷电机，不带电缆，XPS-D/RL
RGV100HL-S紧凑型转台提供超快旋转、非常高的分辨率和出色的定位性能。应用包括半导体晶片检测、微型机器人技术和精密计量。直接驱动技术消除了传统转台的蜗轮，提供更高的速度、出众的可靠性和增强的位置灵敏度。速度、分辨率和可重复性提高了10倍。具有稀土磁体的高效无刷直流扭矩电机可提供最佳的单位惯性扭矩比，以实现高加速，同时具有最小的平台加热。在最大持续扭矩下，电机的温度仅升高30°C。精度由高分辨率玻璃标尺保证，每转15,000线对，从而直接测量旋转压板的位置。平面编码器安装在精密的地面基准面上，并且与平台的旋转轴完美对齐，以最小化由于偏心、摆动或轴向跳动引起的位置误差。RGV100HL采用专有的4点接触球轴承。这种独特的两件式设计最大限度地减少了零件数量，从而实现了更紧凑的工作台，并具有卓越的刚度、高可靠性以及出色的摆动和偏心规格。直径为30 mm的通孔允许电缆和真空管方便地穿过平台。每转一圈索引脉冲允许将精确归位到唯一的原点位置。RGV100HL还具有两个限位开关，可由外部开关启用或禁用。需要相关的驱动模块和电缆套件，所有-S平台必须单独购买（有关详细信息，请参阅附件部分）。
直接驱动技术
RGV系列采用直接驱动技术，具有卓越的速度，定位精度更佳。 带有稀土磁铁的高效无刷直流力矩电机为高加速度提供了最佳的惯性力矩比。 非接触式直接驱动电机不会磨损，只引入最小的阶段加热，电机温度在最大连续转矩下仅增加30°C。
高分辨率玻璃标度编码器
为了确保精度，玻璃编码器安装在地面基准面上。例如，RGV160 的 28,800 点编码器支持出色的 MIM。它完美地与旋转台旋转轴对齐，可尽可能减少由偏心、摆动或轴向摆动引起的位置误差。
大直径通孔
30 毫米或 110 毫米直径的通孔可使电缆和真空管线轻松通过平台。
紧凑设计
RGV 系列具有专有的 4 点接触滚珠轴承并采用 2 件式设计，集成多种功能，如轴承方式和直接驱动电机，可最大限度地减少零件数量。所以，它具有更紧凑的转台，出色的刚度，高可靠性和杰出的摆动和偏心规格。
免费提供计量报告
Newport 保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。
参数
角度范围
360°
最大速度
720°/s
最小位移增量
0.10 mdeg
连续电机扭矩
2 N·m (rms)
峰值驱动扭矩
16 N·m
中心负载能力
100 N
单向重复精度，典型值
±0.10 mdeg
单向重复精度，保证值
±0.15 mdeg
双向重复精度，典型值
±0.15 mdeg
精度，典型值
±3.0 mdeg
精度，保证值
±5.0 mdeg
摆动，典型值
±7.0µrad
摆动，保证值
±20 µrad
偏心率，典型值
±1.0 µm
偏心率，保证值
±1.5 µm
惯性
0.00123 kg·m2
横向顺应性
15 µrad/N·m
原点
Optical, centered
原点重复精度
±0.1 mdeg
限位开关
Two optical limit switches at approx. ±168°, disabled by external switch
编码器分辨率
1 Vpp 0.024° pitch
MTBF
20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
孔径
30 mm
螺纹类型
M4 and M6
最大耗电量
100 W
重量
3.6 kg
顺应性
RoHS 3, CE
RGV100HL Load Characteristics
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