NEWPORT 优铂特 GM50A013101RMM020 GM50A Metal Sealed 10-50,000 sccm Mass Flow Controllers

NEWPORT 优铂特 GM50A013101RMM020   GM50A Metal Sealed 10-50,000 sccm Mass Flow Controllers

质量流控制器，10 sccm N2，4VCR公头，0-5VDC，DB15，金属密封

G系列GM50A013101RMM020质量流控制器具有10 sccm的满量程流量范围，并且针对氮气（N2）进行了校准。它具有Swagelok 4 VCR外螺纹接头和带接地线的15针D型连接器，用于0到5 VDC的质量流控制。这个常闭阀具有金属密封。G系列质量流控制器利用最新的MKS控制算法，可实现在整个设备控制范围内对设定点进行快速、可重复的响应。典型的响应时间在500毫秒量级。数字校准在氮气校准气体上可达到设定点精度的1％。

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