NEWPORT 优铂特 NPXYZ100 NPX 压电叠堆线性平移台
XYZ压电线性位移台，开环，100 µm纳米定位
NPXYZ100三轴纳米定位的线性位移台是基于压电控制的100um行程的线性位移台，可在XYZ轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位，例如反射镜，光纤，激光二极管，微光学器件，传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线，干涉仪的路径长度变化，激光光刻，扫描显微镜和膜片钳等。NPX位移台具有高度可靠的多层低压压电传感器（PZT）堆栈，可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨，NPX位移台无需维护，不易磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描。分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过顶板和底板上的许多螺纹和定位销孔实现的。要安装到具有相同栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板NPX-BP。与所有压电挠曲装置一样，在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在顶板与外壳之间的侧向力。这些外力可能会损坏位移台。
与NPC3纳米定位放大器一起使用。
参数
行程范围
0.1 mm
位移轴
XYZ
轴向负载
40/40/32 N
垂直负载能力
30 N
轴向刚度
1 N/µm
反馈
Open-loop
电缆长度
1 m
真空兼容性
No
电容
1.8 µF
开环分辨率
0.4 nm
开环行程
100 µm
共振频率，载重 105g
190/180/250 Hz
共振频率，载重 300g
110/110/150 Hz
共振频率，载重 80g
210/200/300 Hz
共振频率，空载
500/550/480 Hz
重量
165 g
RoHS
Compliant
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