NEWPORT 优铂特 NPA100SGV6 真空兼容压电叠堆促动器

NEWPORT   优铂特      NPA100SGV6     真空兼容压电叠堆促动器

压电堆促动器，真空，0.1 毫米行程范围，应变计

NPA100SGV6真空兼容的纳米定位压电促动器非常适合集成到定制的运动设备中。它在非常紧凑的外壳中提供了100um行程范围内的纳米分辨率和微秒级的响应时间。NPA系列促动器可以产生高达1000 N的力，这使其特别适用于机床，主动隔振或自适应结构。它们小尺寸和高谐振频率的特点适用于扫描显微镜，激光调谐和光束控制，膜片钳或微光刻应用。该闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动。此外，位置反馈补偿了促动器的蠕变。采用完整的惠斯通电桥设计进行组装，并且对温度不敏感。闭环设备可用于开环或闭环控制中。固定是通过压电促动器顶部和底部的M3螺纹完成的。像所有压电设备一样，应避免弯矩载荷和侧向力。提供平头扳手，并在固定螺丝时使用。真空兼容10-6 Torr。
与NPC3SG纳米定位放大器一起使用。

参数

• 行程范围

  0.1 mm  

  
  

• 轴向负载

  1000 N  

  
  

• 负载能力，拉力

  150 N  

  
  

• 轴向刚度

  10 N/µm  

  
  

• 电容

  9.0 µF

  
  

• 共振频率

  3000 Hz

  
  

• 闭环重复精度

  28 nm  

  
  

• 闭环分辨率

  2.0 nm  

  
  

• 开环分辨率

  0.2 nm  

  
  

• 闭环行程范围

  80 µm  

  
  

• 真空兼容性

  10-6 Torr

  
  

• 电缆长度

  2 m

  
  

• 
  

0755-83512170 手机/微信：13249819590  QQ：2577758288  邮箱:2577758288@qq.com