NEWPORT 优铂特 MLT25-Z 超高精度线性电机垂直位移台
电动垂直位移台,25mm行程,线性电机,5N负载
MLT25-Z是一款高性能线性垂直位移台,行程为25毫米。具有磁性弹簧平衡系统,尺寸可补偿高达 0.5 kg的负载。MLT25-Z随附4个配重板(每个0.1公斤),使用时应根据客户有效负载调整数量。
行程范围
25 mm
最小位移增量
5 nm
最大速度
500 mm/s
最大加速度
0.5 g
最大持续力
3 N
中心负载能力
5 N
精度,保证值
±0.5 µm
双向重复精度,保证值
±0.15 µm
驱动方式
Ironless Motor
反馈
1 Vpp 20 µm pitch
俯仰,保证值
±50 µrad
偏摆,保证值
±50 µrad
典型平面度
±1 µm
直线度,保证值
±1 µm
电缆长度
2.9 m
重量
3.0 kg
MTBF
20,000 h (100% load, 60% duty cycle)
顺应性
RoHS 3, CE

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