NEWPORT 优铂特 ONE-XY200 One-XY 中行程集成 XY 线性平移台
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NEWPORT 优铂特 ONE-XY200 One-XY 中行程集成 XY 线性平移台

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NEWPORT   优铂特     ONE-XY200   One-XY 中行程集成 XY 线性平移台


电动XY 线性位移台，线性电机，190mm行程


ONE-XY200是一款集成XY线性电机位移台，旨在消除单个X级和Y级的集成，并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为190 mm，X轴和Y轴之间有精确的正交对齐。这一位移台利用坚固的部件，如其无铁电机驱动器和交叉滚子轴承来提供高性能，使它们成为精密工业应用的理想解决方案，如半导体晶片检测、微电子测试和组装、计量、激光微加工。



参数



  • 电动轴

    XY


  • 行程范围

    190 mm


  • 最大速度

    200 mm/s


  • 最小位移增量

    50 nm


  • 最大加速度

    0.2 G


  • 连续运动力

    20 N


  • 峰值驱动力

    42 N


  • 中心负载能力

    150 N


  • 精度，保证值

    ±2.5 µm


  • 双向重复精度，保证值

    ±0.090 µm


  • 平面度，典型值

    ±2.0 µm


  • 直线度，典型值

    ±2.0 µm


  • 正交性

    96 µrad


  • 俯仰，保证值

    ±75 µrad


  • 偏摆，保证值

    ±75 µrad


  • 滚转，典型值

    ±36 µrad


  • 驱动方式

    Linear Motor


  • 原点重复精度

    ±0.1 µm


  • 电缆长度

    3 m


  • 宽度

    275 mm


  • 重量

    12 kg


  • MTBF

    20,000 h (25% load, 30% duty cycle)


  • 顺应性

    RoHS 3, CE

















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