NEWPORT 优铂特 902B-11030 902B Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducers
压电真空换能器，0.1到1000托，NW16 ISO-KF，RS232,0-10 VDC，DB15,3个继电器
概览
902B-11030绝对压电真空换能器将基于MEMS的压电传感器的压力测量技术、金属密封的316不锈钢隔膜和集成电子器件结合在一起。它具有NW16 ISO-KF接头和RS232数字通信接口，用于设置传感器参数并且提供实时压力测量。此外，902B具有一个16位0-10 VDC的以10 mV/Torr线性变化的模拟压力输出，可以连接到外部模拟设备以进行压力读数或者闭环控制。它具有公头的DB15连接器。包括三个用于过程控制的机械继电器，例如互锁隔离阀和真空泵。SPDT继电器包括常开和常闭触点，可以设置为在设定跳闸值以上或者以下通电。许多应用需要对系统压力进行连续监视并且警告非典型压力水平。902B的灵活继电器选件能够在压力异常和断电的情况下向外部安全逻辑提供警告。902B提供与气体类型无关的经济的绝对压力测量。这个传感器具有0.1到1000托满量程的测量范围，是半导体制造、薄膜涂层、冷冻干燥、分析仪器、医疗设备、汽车和航空航天等广泛应用的理想选择。902B系列压电换能器是基于硅压阻式压力传感器，能够测量绝对真空压力，精度为读数的±1％（从10-1000托起）。这个传感器坚固耐用，抗机械振动和重力。此外，传感器技术使换能器气体类型独立。只有316不锈钢暴露在工艺气体中，这个换能器能够用于许多苛刻的应用中。902B的紧凑设计显著地降低了换能器占用的空间。这对系统设计者特别有吸引力，并且允许紧凑的系统或者设备设计。902B可以用作独立设备，也可以与PDR900控制器一起使用。
技术参数
类型
Vacuum Pressure Transducer
Sensor Type
Piezo
显示
No
真空压力范围
0.1 to 1000 Torr
模拟输出
0-10 VDC (Linear 10 mV/Torr)
通信类型
RS232
精度
10 - 1000 Torr ±1% of Reading
方向
Any
法兰类型
ISO-KF
法兰尺寸
NW16
设定值继电器
3
继电器触点额定值
1 A @ 30 VAC/VDC resistive
零温度系数
0.01% of Full Scale/°C
跨度温度系数
0.02% of Reading/°C
裸露的材料
316 Stainless Steel
超压极限
1500 Torr
电源要求
9 - 30 VDC <1.2 Watts maximum
最大热烘温度
100°C (non-operating)
工作温度范围
0 - 40°C
电接头
15-pin sub-D male
外壳等级
IP40
CE 认证
Yes
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