NEWPORT 优铂特 NPA100SG 纳米定位压电叠堆促动器

NEWPORT   优铂特      NPA100SG     纳米定位压电叠堆促动器

压电堆促动器，0.1毫米行程范围，应变计

NPA100SG纳米定位压电堆栈促动器非常适合集成到定制的运动设备中。它在非常紧凑的外壳中提供了100um行程范围内的纳米分辨率和微秒级的响应时间。NPA系列促动器可以产生高达1000 N的力，这使其特别适用于机床，主动隔振或自适应结构。它们小尺寸和高谐振频率的特点适用于扫描显微镜，激光调谐和光束控制，膜片钳或微光刻应用。在这种开环版本中，分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过压电促动器顶部和底部的M3螺纹完成的。像所有压电设备一样，应避免弯矩载荷和侧向力。提供平头扳手，并在固定螺丝时使用。
与NPC3SG纳米定位放大器一起使用。

参数

• 行程范围

  0.1 mm  

  
  

• 轴向负载

  1000 N  

  
  

• 负载能力，拉力

  150 N  

  
  

• 轴向刚度

  10 N/µm  

  
  

• 电容

  9.0 µF

  
  

• 共振频率

  3000 Hz

  
  

• 闭环重复精度

  28 nm  

  
  

• 闭环分辨率

  2.0 nm  

  
  

• 开环分辨率

  0.2 nm  

  
  

• 闭环行程范围

  80 µm  

  
  

• 电缆长度

  2 m

  
  

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