NEWPORT 优铂特 NPA50V6 真空兼容压电叠堆促动器

NEWPORT   优铂特      NPA50V6     真空兼容压电叠堆促动器

压电堆促动器，真空，0.05毫米行程范围，开环

NPA50V6真空兼容的纳米定位压电堆栈促动器非常适合集成到定制的运动设备中。它在非常紧凑的外壳中提供了50um行程范围内的纳米分辨率和微秒级的响应时间。NPA系列促动器可以产生高达1000 N的力，这使其特别适用于机床，主动隔振或自适应结构。它们小尺寸和高谐振频率的特点适用于扫描显微镜，激光调谐和光束控制，膜片钳或微光刻应用。在这种开环版本中，分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过压电促动器顶部和底部的M3螺纹完成的。像所有压电设备一样，应避免弯矩载荷和侧向力。提供平头扳手，并在固定螺丝时使用。真空兼容10-6 Torr。
与NPC3纳米定位放大器一起使用。

参数

• 行程范围

  0.05 mm  

  
  

• 轴向负载

  1000 N  

  
  

• 负载能力，拉力

  150 N  

  
  

• 轴向刚度

  20 N/µm  

  
  

• 电容

  5.4 µF

  
  

• 共振频率

  8000 Hz

  
  

• 开环分辨率

  0.1 nm  

  
  

• 真空兼容性

  10-6 Torr

  
  

• 电缆长度

  1 m

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