NEWPORT 优铂特 390511-3-YE-T 390 Micro-Ion ATM Modular Vacuum Pressure Transducers

NEWPORT 优铂特 390511-3-YE-T   390 Micro-Ion ATM Modular Vacuum Pressure Transducers

真空计，微离子ATM，显示器，NW25 ISO-KF，RS-485，模拟

概览

390511-3-YE-T微离子ATM真空计模块具有1x10-9托到大气压的压力测量、NW16 ISO-KF法兰接头以及RS485/模拟通讯。包括一个用于局部压力读数的数字显示器。包括三个设定值控制继电器，以简化过程控制功能。它具有氧化钇涂层的铱离子真空计灯丝和真空度测量单元。将成熟的微离子电离真空计技术与微型对流式热损耗传感器和两个压电电阻传感器相结合，提供了从高真空到大气压的准确、连续的压力测量。390 微离子®ATM微离子/对流式/压电真空计模块使用隔膜传感器，能够提供高达大气压的准确绝对压力，以及真空室与环境的压差的准确指示。独特的真空传感器设计消除了在较高压力下可能会影响热损耗传感器性能的热效应。小型390型微型离子ATM将所有四个传感器和控制电子设备结合在紧凑的模块化设计中，从而减少了腔室所需的仪表数量，并且最大限度地减少了所需空间。

技术参数

• 类型

  Vacuum Gauge

  
  

• Sensor Type

  Micro-Ion ATM

  
  

• 显示

  Graphics LCD

  
  

• 真空压力范围

  1.0 x 10-9 to 760 Torr

  
  

• 模拟输出

  0.5-7.0 VDC (0.5 VDC per Decade Logarithmic)

  
  

• 通信类型

  RS485

  
  

• 法兰类型

  ISO-KF

  
  

• 法兰尺寸

  NW25

  
  

• 设定值继电器

  3

  
  

• 继电器触点额定值

  Maximum: 1 A at 30 VDC, resistive load, Minimum: 5 mA at 5 VDC, resistive load

  
  

• 内部容积

  10.8 cc

  
  

• X射线极限

  <3 x 10-10 Torr, <4 x 10-10 mbar, <4 x 10-8 Pascal

  
  

• 电子轰击除气

  3 Watts for 1 minute/filament

  
  

• 灯丝

  Yttria-coated Iridium

  
  

• 裸露的材料

  304 stainless steel, tantalum, tungsten, yttria-coated iridium, alumina, CuAg eutectic, Kovar, gold or nickel plated Kovar, borosilicate glass

  
  

• 电源要求

  24 VDC +10% to -15%, 1 Amp, 22 Watts nominal

  
  

• 最大热烘温度

  105°C (221°F) with electronics removed

  
  

• 工作温度范围

  10 - 40°C

  
  

• 存储温度范围

  -40 - 70°C

  
  

• 电接头

  15-pin subminiature-D male

  
  

• CE 认证

  Yes

  
  

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