NEWPORT 优铂特 GTS30V 高精度垂直线性平移台
电动垂直位移台，高精度，30 mm 行程，GTS系列
GTS30V是一款紧凑的垂直位移台，具有出色的轨迹精度和0.1 um的最小增量运动能力，行程范围为30 mm。功能包括：由一对匹配的防蠕变交叉滚子轴承组成的垂直导向系统，可实现高精度，无波动的运动；带有精密磨削的折叠式直流电机和低摩擦丝杠，可提供超光滑的运动效果。即使负载很重，GTS30V也不会反向驱动，从而提供了出色的定位稳定性。电动机和丝杠之间的减速带增加了可用的输出扭矩，并提高了伺服回路的灵敏度。GTS30V是半导体晶片检查，扫描，显微镜，激光加工，自动设备对准，计量，质量控制以及需要30 mm长行程垂直运动应用的理想选择。
防蠕动式交叉滚子轴承
高精度的垂直运动是通过直接的垂直引导系统实现的，该系统由成对的GTS30V抗蠕变交叉滚子轴承和GTS70V循环球轴承组成。 选择这些直线导轨可提供最直的轨迹，平稳而精确的运动以及坚固耐用的长期操作。 此外，GTS30V的交叉滚子轴承具有更安静，无波动的附加优点，这在计量级应用中很重要。
高效传动系统
具有精密研磨、低摩擦导螺杆的折叠直流电机，即使在高负载的情况下也能提供超平滑的运动。电机和导螺杆之间的减速带增加了可用的输出转矩并降低了伺服灵敏性，从而确保了 100 nm 的 MIM。
直接的位置反馈
线性标尺编码器提供了精确的位置反馈，这有助于实现亚微米MIM，并使GTS-V不受磁滞的影响。 直接读取编码器系统不会因丝杠的运动感应加热引起的位置漂移，从而提高了精度和可重复性。 对于高负载应用，建议使用带有电机安装的旋转编码器的GTS70VCC。
即插即用 - ESP 兼容
GTS30V 是与 ESP 兼容的平移台。连接到 Newport 控制器之后，无需用户输入即可快速识别该平移台并配置其操作参数。这种即插即用功能不仅对使用透明，而且可以确保安全操作平移台。
手动旋钮
当电源关闭且需要进行快速粗调时，可使用十分方便的手动旋钮。
多轴位移台组件
与Newport电动线性和旋转平台结合使用时，GTS -V垂直载物台是传统载物台栈的一种节省空间的替代方案，可从任何一侧畅通无阻地访问有效载荷。 此外，将有效载荷置于轴承的中心可确保较少的悬臂负载影响和引入阿贝运动误差。
参数
行程范围
30 mm
最小位移增量
0.10 µm
最大速度
10 mm/s
中心负载能力
40 N
精度，典型值
±0.37 µm
精度，保证值
±0.75 µm
双向重复精度，典型值
±0.07 µm
双向重复精度，保证值
±0.10 µm
驱动螺距
1 mm
编码器分辨率
0.050 µm
限位开关
Optical
原点
Optical, close to lower limit
原点重复精度
±0.05 µm
连接器
DB25 Male
俯仰，典型值
±20 µrad
俯仰，保证值
±25 µrad
俯仰顺应性
40 µrad/Nm
滚转，典型值
±12 µrad
滚转，保证值
±25 µrad
滚转顺应性
40 µrad/Nm
偏摆顺应性
25 µrad/Nm
平面度，典型值（保证值）
±0.75 µm
直线度典型值（保证值）
±0.75 µm
电缆长度
3 m
螺纹类型
M4 and M6
重量
3.3 kg
MTBF
20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
顺应性
RoHS 3, CE
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