NEWPORT 优铂特 253B-20-2CF-1 253B Exhaust Throttle Valves

NEWPORT 优铂特 253B-20-2CF-1   253B Exhaust Throttle Valves

排气节流阀，0.779英寸ID，2.75英寸CF法兰，挡板O型圈

253B-20-2CF-1排气节流阀控制从处理系统排出的气体。它具有0.779英寸（20毫米）的标称内径以及2.75英寸的CF法兰盘。包含一个挡板O形圈。调整挡板来控制气流，从而控制过程压力。253拥有专利的放置在挡板传动轴和电机驱动轴之间的非线性促动器，能够产生一个线性的阀传输特性并且提供平稳的线性压力控制。253类型有标准尺寸和法兰样式可供选择，并且与所有MKS节流阀控制器都是兼容的。

参数

• 类型

  Exhaust Throttle Valve

  
  

• 法兰类型

  CF

  
  

• 法兰尺寸

  2.75 in.

  
  

• 内径

  0.779 in. (20 mm)

  
  

• 阀门驱动

  Mechanical (non belt) drive with integral cosine generator

  
  

• 阀门速度

  7.5 s

  
  

• 分辨率

  1/10,000

  
  

• 挡板O型圈

  Yes

  
  

• 氦气泄漏率

  1 x 10-8 scc/sec

  
  

• 闭环泄漏

  <10-7 (Torr l/s)

  
  

• 工作温度范围

  Valve Body: 0 - 90°C
  Valve Motor: 0 - 70°C

  
  

• 通过阀门的最大压差

  1 Atmosphere

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