NEWPORT 优铂特 M-IMS500LM-S IMS-LM 高性能长行程线性电机平移台

NEWPORT   优铂特    M-IMS500LM-S   IMS-LM 高性能长行程线性电机平移台

电动线性位移台，线性电机，500mm行程，XPS-D/RL，不带电缆，M6

M-IMS500LM-S线性位移台专为500 mm行程范围的自支撑应用而设计。FEM优化铝本体的极端刚度支持4点安装，而不会降低其性能，非常适合延迟线和非平面安装表面上的其他应用。线性电机采用居中、高效的三相同步铁芯，线性电机作为驱动元件，提供高速、高加速度和高系统响应性。IMS系列位移台是许多精密工业应用的理想之选，例如半导体晶片检测、微电子测试和组装、DNA测序或激光加工。相关的驱动模块和电缆套件是必需的，必须单独购买(见下表附件)。

参数

• 行程范围

  500 mm

  
  

• 最大速度1

  1000 mm/s

  
  

• 最小位移增量

  20 nm

  
  

• 连续运动力

  100 N

  
  

• 峰值驱动力

  210 N

  
  

• 中心负载能力

  600 N

  
  

• 精度，典型值

  ±2.5 µm

  
  

• 精度，保证值

  ±5.5 µm

  
  

• 双向重复精度，典型值

  ±0.09 µm

  
  

• 双向重复精度，保证值

  ±0.25 µm

  
  

• 俯仰，典型值

  ±37 µrad

  
  

• 俯仰，保证值

  ±75 µrad

  
  

• 俯仰顺应性

  0.2 µrad/Nm

  
  

• 偏摆，典型值

  ±25 µrad

  
  

• 偏摆，保证值

  ±75 µrad

  
  

• 偏摆顺应性

  1 µrad/Nm

  
  

• 滚转顺应性

  1 µrad/Nm

  
  

• 驱动方式

  Linear Motor

  
  

• 原点重复精度

  ±0.05 µm

  
  

• 螺纹类型

  M6

  
  

• 重量

  21 kg

  
  

• MTBF

  20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

  
  

• 顺应性

  RoHS 3, CE

  
  

注释:

1. 1000 mm/s with XPS-EDBL, 500 mm/s with XPS-DRV11 / XPS-DRV02

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