NEWPORT 优铂特 HXP100HA-MECA 六足位移台
六角,高精度,200毫米直径平台,20 kg 载重能力,M6
HXP100HA-MECA 6轴六脚架是一种并联运动装置,能够提供六个自由度:X、Y、Z、俯仰、翻滚和偏航。HXP100HA具有20kg的中心负载能力,对于需要在多达六个独立轴中要求高负载能力和保证精度的复杂运动应用是有效的解决方案,由测试报告支持。通常来说,六角架是难以实现的价格昂贵且复杂设备。相反地,HXP100HA-MECA不仅价格合理,而且非常易于使用和重新配置。通过使用Newport的免费 HexaViz仿真软件来确定HXP100HA-MECA是否适合您的应用。HXP100HA-MECA与我们的HXP100HA-ELEC-D控制器是兼容的。
类型
High Accuracy
尺寸
Ø300 x 209 mm
平台直径
200 mm
中心负载能力
200 N
行程范围 X、Y、Z
±27.5, ±25, ±14 mm
行程范围 ΘX、ΘY、ΘZ
±11.5, ±10.5, ±19 °
最小位移增量 X、Y、Z
0.5, 0.5, 0.25 µm
最小位移增量 ΘX、ΘY、ΘZ
0.25, 0.25, 0.5 mdeg
单向重复精度 X、Y、Z - 典型值
±0.14, ±0.13, ±0.05µm
单向重复精度 X、Y、Z - 保证值
±0.25, ±0.25, ±0.125 µm
单向重复精度 ΘX, ΘY, ΘZ - 典型值
±0.125, ±0.125, ±0.25 mdeg
最大速度 X、Y、Z
2.5, 2, 1 mm/s
最大速度(ΘX、ΘY、ΘZ)
1.8, 1.7, 3 °/s
绝对精度 XYZ,保证值
±10, ±10, ±5µm
偏摆 X、Y、Z,保证值
±75, ±75, ±75 µrad
俯仰 X、Y、Z,保证值
±75, ±75, ±75 µrad
刚度(X、Y、Z)
5, 5, 40 N/µm
双向重复精度(X、Y、Z),典型值
±2.0, ±2.0, ±1.0µm
双向重复精度(ΘX, ΘY, ΘZ),典型值
±1.0 , ±1.0, ±2.0 mdeg
双向重复精度 X、Y、Z - 保证值
±3.0, ±3.0, ±2.0µm
连接器
DB25 - Male (6)
电缆长度
3 m
电机
DC Servo
原点
Optical, close to lower limit
原点重复精度
X,Y,Z: ±5.0, ±5.0, ±2.5 µm
U,V,W: ±2.5, ±2.5, ±5.0 mdeg
编码器分辨率
0.005898864 µm
轴数
6
重量
7.2 kg
螺纹类型
M6
MTBF
5,000 h (25% load, 10% duty cycle)
顺应性
RoHS 3, CE



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