HAMAMATSU滨松       C13027-12        膜厚测量系统
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HAMAMATSU滨松 C13027-12 膜厚测量系统

HAMAMATSU滨松       C13027-12        膜厚测量系统


特点

  • 支持 PLC 连接
  • 缩短周期时间(最高 200 Hz)
  • 能够测量 10 nm 薄膜
  • 同时测量厚度和颜色
  • 缩小尺寸(与 C12562 相比,其安装面积减少 30%)
  • 涵盖宽波长范围(400 nm 至 1100 nm)
  • 软件中添加了简化的测量
  • 能够同时进行表面分析
  • 精确测量起伏不定的薄膜
  • 分析光学常数(n、k)
  • 映射功能

详细参数

型号C13027-12
可测量的薄膜厚度范围(玻璃)10 nm 至 100 μm*1
测量重现性(玻璃)0.02 nm*2 *3
测量精度(玻璃)±0.4%*3 *4
光源卤素光源
测量波长400 nm 至 1100 nm
光斑尺寸约 Φ1 mm*3
工作距离10 mm*3
可测量层数最多 10 层
分析FFT 分析、拟合分析、光学常数分析、颜色分析
测量时间3 ms/point*5
光纤连接器形状FC
外部控制功能RS-232C,以太网
电源AC100 V 至 AC240 V,50 Hz/60 Hz
功耗约 80 VA

●输出信号

  模拟输出:0 V 至 10 V/高阻抗 3 通道(最多 3 层)

  警报输出:TTL/高阻抗单通道

  警告输出:TTL/高阻抗单通道

●输入信号

  测量开始信号:TTL/高阻抗单通道


*1 当以玻璃折射率 1.5 进行转换时。

*2 测量 400 nm 厚玻璃膜时的标准偏差(公差)。

*3 取决于使用的光学系统或物镜放大率。

*4 VLSI 标准测量保证文件中记录的测量保证范围。

*5 最短曝光时间。


尺寸

c13027 外形尺寸图

 

 

 

两分叉光导外形尺寸图

a10192-10 外形尺寸图

0755-83512170 手机/微信:13249819590  QQ:2577758288  邮箱:2577758288@qq.com

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