NEWPORT 优铂特 GE50A013502RMV020 GE50A Viton Sealed 10-50,000 sccm Mass Flow Controllers
质量流控制器,500 sccm N2,4VCR公头,0-5VDC,DB15,氟橡胶密封
G系列GE50A013101RMV020质量流控制器具有10 sccm的满量程流量范围,并且针对氮气(N2)进行了校准。它具有Swagelok 4 VCR外螺纹接头和带接地线的15针D型连接器,用于0到5 VDC的质量流控制。这个常闭阀采用氟橡胶密封材料。G系列质量流控制器利用最新的MKS控制算法,可实现在整个设备控制范围内对设定点进行快速、可重复的响应。典型的响应时间在500毫秒量级。数字校准在氮气校准气体上可达到设定点精度的1%。

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