NEWPORT 优铂特 M-562-XYZ 交叉滚子轴承钢制平台

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M-562-XYZ ULTRAlign™精密公制线性位移台采用不锈钢结构，以达到出色的长期稳定性，并具有热匹配的淬硬钢交叉滚子轴承，从而实现无与伦比的性能。交叉滚子轴承和精密制造的轴承参考表面可提供异常线性的13 mm行程，其绕任何轴的角度偏差均优于100µrad。我们使用六轴干涉仪测量每个平台，以确保性能。每个562平台的轴均配备有一个无影响的锁定机构，以在锁定或解锁时保持亚微米定位。特殊设计的促动器安装块允许随时随地在任何轴上快速简便地更换促动器。可以选择手动或电动促动器来构建满足您特定分辨率要求的系统。562系列位移台的坚固设计使其非常适合重复，高使用率的工业制造和研究应用。这些平台由于质量较高，因此具有更强的抗热性，而直径较大的轴承则可以提高平台的刚度。由于所有促动器都位于顶表面以下，因此可以轻松应对超大负载和复杂的平台配置。大量的M6孔栅格提供了方便的安装选项。需要三个单独出售的促动器。

刚性交叉滚子轴承消除了挠曲共振

弹性挠曲被誉为超精密定位的最佳设计方法，但它们固有地容易受到振动干扰的影响。它们的固有频率低，使其对日常实验室活动极为敏感-即使走路或说话也可能干扰您的实验测量。触摸挠曲部件或光学平台可能会导致位移台位置发生变化，从而导致输出信号发生较大变化。这种敏感性会使精细的手动调整变得困难有时甚至不可能，并且迫使使用更昂贵的运动控制系统。交叉滚子轴承在最佳预加载时不易振动，因此ULTRAlign™的稳定性和刚度远高于挠性设计的定位器。交叉滚子轴承的构造使精度和稳定性得以同时实现，因此在许多情况下，可以用手动千分尺代替压电促动器，而不会降低定位性能。

用于对准的大负载位移台

562 系列 ULTRAlign™ 线性位移台由 3 轴不锈钢位移台构成，构造坚固，非常适合更高的负载能力（高达 35 磅）。坚固的设计和更高的质量使其也非常适合于使用度高的工业制造和研究应用，同时具有更好的热稳定性。交叉滚子轴承和精密加工的轴承表面提供了沿每个轴的平滑运动，类似于 461 ULTRAlign 系列，但是较大直径的轴承增加了位移台的刚度。使用六轴干涉仪进行校验以获得优异的线性行程（绕任何轴的角偏差均小于 100 µrad），以确保实现最佳的精度。每个位移台的轴都配有零干扰锁定机制，以保证在锁定或解锁时维持亚微米级的定位精度。