NEWPORT 优铂特 XML350-S XM 超精密线性电机平移台
电动线性位移台，线性电机，350mm行程，300N载重，M4和M6
XML350 - S超性能线性位移台具有世界领先的动态性能，能够在350mm的行程范围内持续、可靠地移动至1nm。创新和紧凑；XM级在最复杂的轨迹上支持鲁棒的、可重复的运动，具有卓越的精度。XM性能采用精密设计的部件和设计，最大限度地减少磨损和电机发热，让您的长期运动投资最大化。XM位移台是一种超高性能解决方案，适用于激光加工、半导体晶片加工、传感器测试和校准、超精密装配以及其他需要卓越动态响应的扫描应用。XML-S位移台旨在与XPS-D控制器一起使用。相关的驱动模块和电缆套件是必需的，必须单独购买(参见下面的附件部分)。
适用于激光加工应用
XM平移台是激光微加工、标记、切割和纳米图案形成等应用的理想平移台。此视频显示两个XM平移台堆叠在由NewportXPS控制器驱动的2轴(XY)系统中，用于与振镜扫描器同步的复杂、平滑、超高精度运动。
3轴超精密
XM系列直接驱动平移台为最苛刻的应用提供超高精度运动。此视频显示由两个XM平移台和一个xms-v垂直平移台组成的组件，该组件提供3个轴(XYZ)的运动，可用于聚焦、传感器测试/校准、直接激光光刻和精密组装等应用。
可以通过命令控制 1 nm 位移步长
超精密设计和 Heidenhain 光栅尺使 XM 线性平移台系列能够在受控环境中通过一致的命令控制 1 nm MIM。
创新的中心驱动、无铁、直接驱动线性电机
与螺钉驱动平移台不同，XM采用中心驱动、无铁芯线性电机作为驱动元件。由于线性电机是无摩擦的直接驱动设备，因此没有限制运动性能的侧隙或滞后、卷绕或静摩擦。线性电机驱动器还具有更高的速度、加速度和系统响应性的优点，同时没有电机电刷或驱动螺钉的磨损。超大、无铁芯电机线圈能确保零齿槽，实现超平滑速度控制，与其他平移台设计相比，具有更高的效率。这将导致产生的热量显著减少，发热通常是超精密运动应用的主要限制因素。为了进一步改善热管理及其对平移台性能的影响，XM 平移台还具有一个优点，其磁轨和平移台托架之间采用了成熟的全程去耦机制。
配套的抗蠕变交叉滚子轴承可实现超高精密控制
为了确保最精确的轨迹控制，XM平移台具有配套的同类最佳防蠕动式交叉滚子轴承对。这些轴承中没有再循环元件，因此可以为最苛刻的扫描和检测系统提供充足的无波纹运动。而且，齿轮保持架会防止轴承罩移位，其他直线轴承产品可能出现此类移位。
面向最佳 XY 组件的 T 形托架设计
在 XM 上使用的 T 形托架为精密 XY 组件提供了最佳解决方案，同时不会影响平移台预载荷。与具有 C 形托架设计的平移台相比，它更加坚固，并能适应非理想的安装条件。
参数
行程范围
350 mm
最大速度
300 mm/s
最小位移增量1
1 nm
连续运动力
50 N
峰值驱动力
240 N
中心负载能力
300 N
精度，典型值
±0.5 µm
精度，保证值
±1.5 µm
双向重复精度，典型值
±0.035 µm
双向重复精度，保证值
±0.040 µm
平面度，典型值（保证值）
±0.75 (±1.50) µm
直线度典型值（保证值）
±0.75 (±1.50) µm
俯仰，典型值
±20 µrad
俯仰，保证值
±50 µrad
俯仰顺应性
0.7 µrad/Nm
偏摆，典型值
±10 µrad
偏摆，保证值
±40 µrad
偏摆顺应性
0.2 µrad/Nm
滚转顺应性
0.1 µrad/Nm
驱动方式
Linear Motor
原点重复精度
±0.025 µm
螺纹类型
M4 and M6
重量
22 kg
MTBF
20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
最大耗电量
100 W
顺应性
RoHS 3, CE
注释:
Requires operation in controlled environment to achieve specification.
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