NEWPORT 优铂特 M-ND41-B NewDamp™ 弹性振动隔离器

NewDamp 隔振器表现出非常高的阻尼性能，在室温下于 10–100 Hz 频率范围内，损耗因数约为 0.5 至 0.8。这种阻尼水平要比其他商用人造橡胶好两到五倍。其阻尼系数非常高，非常适用于针对晶圆定位、检验和电子设备制造应用中使用的高产能高速运动位移平台所产生的高加速度进行支撑和阻尼减振。NewDamp 人造橡胶可内置于设备隔离支撑装置中，甚至是内置于定制式机械支脚中。

恒定固有频率 (CNF) 是一种复杂属性，可降低负载偏差灵敏度以及实现高度模态去耦。大多数弹性安装座的固有频率随质量增加而降低，或随质量降低而增加。这意味着隔振特性将随负载的变化而变化。NewDamp 弹性隔振器使用特殊几何异形橡胶和安装夹具。这类隔振器可调节负载的变化与刚度的变化，从而保持刚度与质量之比恒定。因此，CNF 隔振器的隔振效果甚至比更软的传统隔振器的隔振效果好。

NewDamp™ 隔振腿的一个显着特性是它们能够快速衰减瞬态运动，从而减少设备因为位移台移动或其他干扰情况之后的稳定时间。以下的对比针对一个安装在花岗岩基座上并由四个 NewDamp™ ND40 隔振腿支撑的双轴空气轴承运动位移平台（总重量：800 kg）。

NewDamp 产品表现出非常高的阻尼，在室温下于 10–100 Hz 频率范围内，损耗因数约为 0.5 至 0.8，比其他商用橡胶高 2 至 5 倍。高阻尼系数使其成为针对晶圆定位和电子设备制造应用中使用的高产能运动位移平台所产生的高加速进行支撑和阻尼减振的理想选择。NewDamp 人造橡胶可内置于设备隔离支撑装置中，甚至是内置于定制式机械支脚中。

NewDamp 由高度工程化的聚氨酯 U-16 化合物制成，完全与洁净室兼容。这些产品已应用于100级晶圆厂中，以支持晶圆检验和定位系统。