NEWPORT 优铂特 NPM140SG-D 纳米定位压电式测微头适配器

NEWPORT   优铂特      NPM140SG-D     纳米定位压电式测微头适配器

测微计适配器，压电式，140 µm，应变计，XPS

NPM140SG-D压电千分尺适配器为手动产品提供纳米定位功能。该适配器安装在位移台的促动器座上，与所有Newport平台和调整架机械兼容，并具有0.375英寸（9.5毫米）直径的安装法兰。粗调是通过手动螺丝进行的。通过控制NPM140的压电电压可以完成最终的微调。复杂的线切割挠曲系统可提供140um的超长行程范围，该系统还可以用作促动器尖端的线性导轨。NPM140SG可以在开环或闭环模式下运行。开环模式下的分辨率在亚纳米范围内。NPM140SG具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的闭环运动。此外，位置反馈补偿了压电堆栈的蠕变。为了获得最高的位置稳定性和最高的温度不敏感性，该传感器采用完整的惠斯通电桥设计进行组装。由于该千分尺适配器将手动螺钉从正常位置退回22毫米，因此建议使用长度超过22毫米的千分尺或螺钉，以利用手动平台或调整架的全部行程。
带有伴随智能EPROM的Dsub25连接器。与XPS Motion控制器一起使用，需要XPS-DRVP1驱动程序模块。

参数

• 行程范围

  140 µm  

  
  

• 轴向负载

  100 N  

  
  

• 轴向刚度

  0.4 N/µm  

  
  

• 电容

  1.7

  
  

• 共振频率

  670.0

  
  

• 闭环重复精度

  35 nm  

  
  

• 闭环分辨率

  1 nm  

  
  

• 开环分辨率

  0.1 nm  

  
  

• 闭环行程范围

  90 µm  

  
  

• 电缆长度

  1.2 m

  
  

• 重量

  0.125 kg  

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