NEWPORT 优铂特 PSM2SG-D 超快速压电转向镜调整架

NEWPORT   优铂特    PSM2SG-D      超快速压电转向镜调整架

压电转向镜调整架，2x2mrad x16 µm，带应变计传感器，与 XPS 兼容

带有应变计传感器的PSM2SG-D压电转向镜调整架可为反射镜、光栅和其他光学元件提供高速、亚微弧度分辨率，翻转、倾斜和 Z 轴运动。PSM2 配备了不带杠杆臂传动的直接压电促动系统，非常适合高带宽激光束转向、转换和稳定，光束扫描、图像稳定和激光腔调谐。采用直角三角形配置的三个多层、低压压电叠堆（PZT）可以提供快速和可靠的运动。每个压电叠堆的长度可以单独控制。对一个叠堆施加电压会导致翻转或者倾斜。同时改变全部三个堆叠的长度，将导致线性 Z 方向位移。 翻转和倾斜是正交的，无需按替代设计的要求进行坐标转换，而在替代设计中，压电叠层以120°的间隔放置。 PSM2SG的平行运动设计是完全温度补偿的。环境温度的变化不影响倾斜角度。PSM2同样是免维护的，不会磨损。PSM2SG基于内部应变计位置传感器提供绝对位置控制、高线性度和高重复性功能。 位置反馈还会补偿促动器蠕动。 为了获得最高的位置稳定性和最高的温度不敏感性能，这些传感器完全采用惠斯通电桥设计。

参数

• 轴向刚度

  50 N/μm

  
  

• 非线性度

  0.5% (typical)

  
  

• 电动轴

  3

  
  

• 角度范围

  ±0.115°

  
  

• 电缆长度

  1.2 m

  
  

• 机制

  Steering Mirror

  
  

• 重量

  85 g  

  
  

• 电容

  1.8 µF  

  
  

• 频率

  5400 Hz  

  
  

• 负载

  1 N  

  
  

• 开环线性分辨率

  0.03 nm  

  
  

• 开环角分辨率

  0.004 µrad  

  
  

• 闭环线性分辨率

  3 nm  

  
  

• 闭环角分辨率

  0.04 µrad

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