NEWPORT 优铂特 HXP50V6-MECA 真空兼容的六足位移台
六角，真空兼容，125毫米直径平台，5kg负载，M6
HXP50V6-MECA 真空兼容六脚架是一种并联运动装置，能够提供六个自由度：X、Y、Z、俯仰、翻滚和偏航。HXP50V6具有5kg的中心负载能力，对于需要在多达六个独立轴中具有重复性和精度的复杂运动应用是有效的解决方案。与复杂且价格昂贵的形象相反，HXP50六角架不仅价格合理，而且非常易于使用。通过使用Newport的免费HexaViz仿真软件来确定HXP50V6-MECA是否适合您的应用。与HXP50V6-ELEC-D一起订购。请注意：机械设计为可在10-6 Torr的压力下运行，但是连接器不是真空兼容的。对于真空兼容的连接器、除气测试或者更快的交付，请致电Newport（800）222 6440。
参数
类型
Vacuum Compatible
尺寸
Ø200 x 151 mm
平台直径
125 mm
中心负载能力
50 N
行程范围 X、Y、Z
±17, ±15, ±7 mm
行程范围 ΘX、ΘY、ΘZ
±9, ±8.5, ±18 °
最小位移增量 X、Y、Z
0.2, 0.2, 0.1 µm
最小位移增量 ΘX、ΘY、ΘZ
0.1, 0.1, 0.2 mdeg
单向重复精度 X、Y、Z - 典型值
±0.20, ±0.20, ±0.20 µm
单向重复精度 ΘX, ΘY, ΘZ - 典型值
±0.40, ±0.40, ±0.20 mdeg
最大速度 X、Y、Z
2, 1.9, 0.8 mm/s
最大速度（ΘX、ΘY、ΘZ）
2.4, 2.4, 6 °/s
刚度（X、Y、Z）
2, 2, 25 N/µm
双向重复精度（X、Y、Z），典型值
±1.0, ±1.0, ±0.50 µm
双向重复精度（ΘX, ΘY, ΘZ），典型值
±0.50, ±0.50, ±1.0 mdeg
连接器
DB25 Male (6)
电缆长度
1.5 m
电机
Stepper motor
原点
Optical, close to lower limit
原点重复精度
X,Y,Z: ±5.0, ±5.0, ±2.5 µm
U,V,W: ±2.5, ±2.5, ±5.0 mdeg编码器分辨率
0.42283 µm
最小位移增量
Open Loop/Closed Loop
X,Y,Z: 0.2/0.8, 0.2/0.8, 0.1/0.4 µm
U,V,W: 0.1/0.4, 0.1/0.4, 0.2/0.8 mdeg轴数
6
重量
2.2 kg
真空兼容性
10-6 Torr
螺纹类型
M6
MTBF
5,000 h (25% load, 10% duty cycle)
顺应性
RoHS 3, CE
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