NEWPORT 优铂特 9082-V-M 真空兼容光学设备对准平台

NEWPORT   优铂特    9082-V-M   真空兼容光学设备对准平台

设备对准位移台，宽版五轴，真空，3 mm，8°，M4 和 M6

概览

9082-V-M真空宽版五轴对准器与9081类似，但具有更宽的可移动平台，用于安装较大的组件。 在这个平台上，通过管对准激光光束是很简单的。以相反的方向旋转两个X螺钉或两个Y螺钉相等的量，即可使其围绕板的中心倾斜或旋转。将它们朝相同的方向旋转，即可得到平移。Z轴调整允许沿光轴精确平移。9082-V-M具有(7) M6螺纹孔和(2)M4螺纹孔。专利号5,303,035。

技术参数

• 位移轴

  X, Y, Z, θx, θy

  
  

• 机制

  Kinematic

  
  

• 驱动方式

  Hex-Key

  
  

• 行程范围

  3 mm  

  
  

• 角度范围

  8°

  
  

• 负载

  22 N  

  
  

• 材料

  Aluminum

  
  

• 灵敏度

  Linear: 0.9 µm
  Angular: 18 µrad

  
  

• 真空兼容性

  10-6 hPa

  
  

• 螺纹类型

  M4 and M6

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