NEWPORT 优铂特 UTS100PPV6 UTS 超薄型钢线性位移台

NEWPORT   优铂特   UTS100PPV6    UTS 超薄型钢线性位移台

电动线性位移台，不锈钢，100mm行程，步进电机，真空兼容

UTS100 PPV 6真空兼容线性位移台结合了流行UTM系列的许多优点。这款位移台采用了低轮廓设计，具有极好的刚度和热稳定性，使其非常适合于温度不好控制的环境。步进电机的高输出扭矩最大限度地降低了失步风险，并提供了最佳MIM。它还配有一个经过金刚石校正的丝杠和一个精密研磨螺母，其中包括防反冲预加载和一个复杂的解耦系统。
注意:由于各种馈通配置和 顾客偏好，位移台附带的电缆不是真空兼容的。请联系Newport，了解真空兼容电缆。

参数

• 行程范围

  100 mm

  
  

• 最大速度

  10 mm/s

  
  

• 最小位移增量

  300 nm

  
  

• 中心负载能力

  100 N

  
  

• 轴向负载 (+Cx)

  50 N

  
  

• 逆轴向负载能力 (-Cx)

  -10 N

  
  

• 精度，典型值

  ±1.7 µm

  
  

• 精度，保证值

  ±3.5 µm

  
  

• 单向重复精度，典型值

  ±0.30 µm

  
  

• 单向重复精度，保证值

  ±0.5 µm

  
  

• 双向重复精度，典型值

  ±2.3 µm

  
  

• 双向重复精度，保证值

  ±3.0 µm

  
  

• 俯仰，典型值

  ±25 µrad

  
  

• 俯仰，保证值

  ±50 µrad

  
  

• 俯仰顺应性

  15 µrad/Nm

  
  

• 偏摆，典型值

  ±20 µrad

  
  

• 偏摆，保证值

  ±35 µrad

  
  

• 偏摆顺应性

  15 µrad/Nm

  
  

• 滚转顺应性

  10 µrad/Nm

  
  

• 驱动方式

  Stepper Motor

  
  

• 原点重复精度

  ±2.5 µm

  
  

• 电缆长度

  3 m  

  
  

• 真空兼容性

  10-6 Torr

  
  

• 螺纹类型

  M4 and M6

  
  

• 重量

  3.3 kg  

  
  

• MTBF

  20,000 h (25% load, 10% duty cycle)

  
  

• 最大耗电量

  10 W

  
  

• 顺应性

  RoHS 3, CE

  
  

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