奥林巴斯OLYMPUS OLS5100-EAF 激光扫描显微镜
| 型号 | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 综合倍率 | 54x ～ 17280x | |||||
| 视场 | 16 µm ～ 5,120 µm | |||||
| 测量原理 | 光学系统 | 反射型共聚焦激光扫描（激光）显微镜 反射型共聚焦激光扫描（激光-DIC）显微镜 彩色 彩色-DIC | ||||
| 光接收元件 | 激光：光电倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相机 | |||||
| 高度测量 | 显示分辨率 | 0.5 nm | ||||
| 动态范围 | 16位 | |||||
| 可重复性σn-1*1 *2 *5 | 5X：0.45μm，10X：0.1μm，20X：0.03μm，50X：0.012μm，100X：0.012μm | |||||
| 准确度 *1 *3 *5 | 0.15 + L/100 μm（L：测量长度[μm]） | |||||
| 拼接图像准确度 *1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm；20X或更高：1.0+L/100 μm（L：拼接长度[μm]） | |||||
| 测量噪声（Sq噪声） *1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | |||||
| 宽度测量 | 显示分辨率 | 1 nm | ||||
| 可重复性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X：0.4μm，10X：0.2μm，20X：0.05μm，50X：0.04μm，100X：0.02μm | |||||
| 准确度 *1 *3 *5 | 测量值+/- 1.5% | |||||
| 拼接图像准确度 *1 *3 *5 | 10X：24+0.5L μm；20X：15+0.5L μm；50X：9+0.5L μm；100X: 7+0.5L μm（L：拼接长度[mm]） | |||||
| 单次测量时最大测量点数量 | 4096 × 4096像素 | |||||
| 最大测量点数量 | 3600万像素 | |||||
| XY载物台配置 | 长度测量模块 | • | 不适用 | 不适用 | • | |
| 工作范围 | 100 × 100 mm电动 | 100 × 100 mm 手动 | 300 × 300 mm 电动 | 100 × 100 mm 电动 | ||
| 最大样品高度 | 100 mm | 40 mm | 37 mm | 210 mm | ||
| 激光光源 | 波长 | 405 nm | ||||
| 最大输出 | 0.95 mW | |||||
| 激光分类 | 2类（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014*6 | |||||
| 彩色光源 | 白光LED灯 | |||||
| 电气功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
| 质量 | 显微镜主体 | 约重31 kg | 约重32 kg | 约重50 kg | 约重43 kg | |
| 控制盒 | 约重12 kg | |||||
*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境中使用时可达到规格要求（温度：20℃±1℃，湿度：50％±10%）。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜且放大倍率为20倍或更高时。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4 在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值，可能与保证值不同。
*5 在Evident认证体系下有保证。
*6 OLS5100是2类激光产品。请勿盯着光束看。
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