NEWPORT 优铂特 FSM-300-NM 快速转向反射镜系统

NEWPORT   优铂特   FSM-300-NM     快速转向反射镜系统

快速转向系统，1 英寸反射镜安装用具

FSM-300-NM快速转向镜系统，带有一个1英寸直径夹具，以标准、经济可行的设计，为商业用途提供了具有亚微弧度分辨率的两轴、高带宽旋转，例如激光束稳定、激光指向、跟踪、图像稳定。使用独特的弯曲设计来限制反射镜的运动，从而消除了振镜扫描仪经常使用的轴承面。这样就可以实现超平滑的运动，非常高的精度以及几乎无限的使用寿命。四个音圈促动器提供了快速、高带宽的旋转。推拉配对使用的促动器为反射镜提供平稳、均匀的扭矩。内部基于光学的反馈回路为实现精确、稳定的指向和跟踪提供了位置反馈。附带的控制器/驱动器在角度传感器和驱动器之间建立反馈接口，从而为使反射镜组件倾斜的音圈提供电流。它还在用户和反射镜之间提供了方便的接口，允许施加控制电压并监视反射镜位置。更新后的FSM-CD300系列控制器结合了升级的独立增益和X和Y轴的DC偏移调整。这个增强功能显著改善了需要精确控制点对点移动的激光定位应用的系统性能。FSM300-NM带有1英寸（25.4毫米）直径的夹具。种类繁多的1英寸反射镜组件单独出售。这使得用户可以在有需要的时候，用更好的镀膜选项来现场更换标准反射镜。

参数

• 角度范围

  ±26 mrad

  
  

• 表面质量

  15-5 scratch-dig

  
  

• 表面平面度

  ≤λ/10

  
  

• 分辨率

  ≤1µrad rms (mechanical)

  
  

• 重复精度

  ≤3µrad rms (mechanical)

  
  

• 精度

  ≤0.262mrad rms (mechanical)

  
  

• 最大曝光量

  30 W peak, 15 W exposure

  
  

• 电缆长度

  3 m

  
  

• 电源要求

  100-240 Vac ±10%, 47-63 Hz

  
  

• 工作温度范围

  Head: 0 to 50°C
  Controller: 0 to 35°C

  
  

• 存储温度范围

  -20 to 55°C

  
  

• 尺寸

  100mm x 229mm x 254mm (h x w x d; controller)

  
  

• 重量

  434 g (head) ; 2.5kg (controller)

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