HAMAMATSU滨松 C15740-01 微型 LED PL 检查系统
详细参数
| 型号名称 | C15740-01 |
|---|---|
| 支持的晶圆尺寸 | 100 mm（4 英寸）或 150 mm（6 英寸） （其他尺寸可协商提供） |
| 测量时间 | 约 12 分钟 （10 倍物镜，PL 测量，4 英寸晶圆） |
| PL 测量波长 | R、G、B |
| 空间分辨率 | 1 μm/像素（标准模式），0.5 μm/像素（高分辨率模式） |
| 测量项目 | 形状异常、PL 强度、PL 波长 |
| 外部尺寸/重量 | 2000 mm (W) × 1878 mm (H) × 1130 mm (D) / 约 1800 kg |
| 洁净室 | 兼容 |
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