NEWPORT 优铂特 M-VP-5ZA VP-5ZA 精密垂直线性位移台
电动垂直位移台，紧凑型，4.8 mm，带转速计的直流伺服电机，M3和M4
M-VP-5ZA 垂直载物台是超薄型，精密的垂直载物台，具有60 nm的最小增量运动能力，高响应性和在4.8 mm行程内的完美笔直轨迹。功能包括：创新的斜面设计；冷运转的高扭矩直流电动机，带有精密的预加载，长寿命的滚珠丝杠，可确保高速运动并减少建立时间；直接连接到移动导轨的高分辨率线性标尺，消除了所有传动系统引起的运动误差；两对垂直安装的双列线性滚珠轴承滑块产生纯垂直运动。还提供了用于晶片卡盘的标准3点安装接口。为了方便起见，可以使用平头螺丝刀进行手动垂直调整。典型的应用包括：半导体晶圆检查，光子学测试和包装，微装配，精密计量和表面检查系统。 VP-5ZA与VP-25X线性位移台和其他Newport定位产品兼容。要将其安装到光学平台或ILS线性平台上，请使用可选的底板VP-BP。
构建薄型 XYZ 平移台叠堆
超薄精密 XYZ 系统由两个VP-25XA 线性平移台和一个 VP-5ZA 垂直平移台组成。与传统平移台叠堆相比，该解决方案提供了一种超薄替代方案，可从任何方向轻松接近负载。
保持轴承上的有效载荷
VP-5ZA 的提升方法可实现有效载荷在轴承上定心，并靠近位置反馈。这样可以避免可引起角变形的任何悬臂负载，并产生具有更高载重能力的更精确的运动。
高效的倾斜平面设计
使用两个楔形的独特布置可产生纯垂直运动，两个楔形通过倾斜的循环滚珠轴承和两对垂直安装的双列线性滚珠轴承滑块移动通过彼此。
广泛的平移台兼容性
顶板上的螺纹孔图案提供了与VP-25X 线性平移台和其他 Newport 定位产品的兼容性。还提供用于晶片卡盘的标准 3 点安装接口。要将 VP-5ZA 安装到光学平台或ILS 线性平移台，请使用可选的VP-BP底座。可以使用平头螺丝刀方便地进行手动垂直调整。
高转矩直流电机
一种高效、高转矩直流电机，具有精密预装长使用寿命的滚珠丝杠，可确保高速运动并缩短稳定时间。高分辨率线性刻度直接连接到移动轨道，消除了所有传动系统引起的运动误差。此外，节省空间的固定读取头设计避免了任何电缆移动。结果是一个坚固耐用的平移台，MTBF 为 20000 小时。
参数
行程范围
4.8 mm
最小位移增量
0.06 µm
最大速度
5 mm/s
中心负载能力
50 N
精度，典型值
±0.6 µm
精度，保证值
±1.5 µm
双向重复精度，典型值
±0.10 µm
双向重复精度，保证值
±0.25 µm
单向重复精度，典型值
±0.06 µm
单向重复精度，保证值
±0.15 µm
驱动螺距
1 mm
编码器分辨率
0.0196 µm
限位开关
Optical
原点
Optical, centered
原点重复精度
±0.1 µm
连接器
DB25 Male
俯仰，典型值
±30 µrad
俯仰，保证值
±50 µrad
俯仰顺应性
45 µrad/Nm
滚转，典型值
±30 µrad
滚转，保证值
±50 µrad
滚转顺应性
50 µrad/Nm
偏摆，典型值
±30 µrad
偏摆，保证值
±50 µrad
偏摆顺应性
10 µrad/Nm
电缆长度
1.5 m
螺纹类型
M3 and M4
重量
2.4 kg
MTBF
20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
顺应性
RoHS 3, CE
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