HAMAMATSU滨松       S13989-01H       MEMS 振镜
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HAMAMATSU滨松 S13989-01H MEMS 振镜

HAMAMATSU滨松       S13989-01H       MEMS 振镜


详细参数

类型双轴光栅扫描
操作模式快轴:非线性模式(谐振模式)
慢轴:线性模式
振镜尺寸φ1.23 mm
振镜材料
光偏转角快轴:±20°
慢轴:±12 °
驱动频率(最大)快轴:29.3 kHz(典型值)
慢轴:100 Hz

外形尺寸图(单位:mm)

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