NEWPORT 优铂特 ONE-XY200HA One-XY 中行程集成 XY 线性平移台

NEWPORT   优铂特     ONE-XY200HA   One-XY 中行程集成 XY 线性平移台

电动XY 线性位移台，线性电机，190mm行程，高精度

ONE - XY200HA是 的高精度版本，一种集成XY线性电机位移台，旨在消除单个X级和Y级的集成，提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为190 mm，X轴和Y轴之间有精确的正交对齐。这一位移台利用坚固的部件，如其无铁电机驱动器和交叉滚子轴承来提供高性能，使它们成为精密工业应用的理想解决方案，如半导体晶片检测、微电子测试和组装、计量、激光微加工。

参数

• 电动轴

  XY

  
  

• 行程范围

  190 mm

  
  

• 最大速度

  200 mm/s

  
  

• 最小位移增量

  50 nm

  
  

• 最大加速度

  0.2 G

  
  

• 连续运动力

  20 N

  
  

• 峰值驱动力

  42 N

  
  

• 中心负载能力

  150 N

  
  

• 精度，保证值

  ±0.4 µm

  
  

• 双向重复精度，保证值

  ±0.090 µm

  
  

• 平面度，典型值

  ±2.0 µm

  
  

• 直线度，典型值

  ±2.0 µm

  
  

• 正交性

  5 µrad

  
  

• 俯仰，保证值

  ±75 µrad

  
  

• 偏摆，保证值

  ±75 µrad

  
  

• 滚转，典型值

  ±36 µrad

  
  

• 驱动方式

  Linear Motor

  
  

• 原点重复精度

  ±0.1 µm

  
  

• 电缆长度

  3 m

  
  

• 宽度

  275 mm

  
  

• 重量

  12 kg

  
  

• MTBF

  20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

  
  

• 顺应性

  RoHS 3, CE

  
  

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