NEWPORT 优铂特 ZVR-PC 用于晶片定位的集成垂直旋转台

NEWPORT   优铂特   ZVR-PC    用于晶片定位的集成垂直旋转台

晶片定位位移台，集成垂直和直流旋转台

Newport的新型ZVR-PC是集成Z向垂直运动和直流伺服θ旋转的定位台，旨在精确地抬高和旋转200毫米和/或300毫米直径的晶片夹。ZVR-PC采用超薄设计，可提供精确的10毫米垂直运动和连续360°的角向行程。ZVR-PC通过在θ阶段使用直流伺服电机和集成的旋转编码器，能够进行高速，高性能的定位。通过集成的真空和单点接入的电线，以及三点安装接口，ZVR-PC为晶片定位等应用提供了方便，稳定和高性能的功能。有关ZVR-PC旋转和垂直运动能力的完整说明，请参考数据表。

参数

• 行程范围

  10 mm

  
  

• 角度范围

  360°

  
  

• 最大速度

  80°/s

  
  

• 最大线速度

  10 mm/s  

  
  

• 最小位移增量

  2.0 mdeg

  
  

• 最小位移增量，线性

  0.05 µm  

  
  

• 最大扭矩

  1 Nm

  
  

• 中心负载能力

  100 N

  
  

• 单向重复精度，典型值

  ±0.50 mdeg, ±0.2 µm (linear)

  
  

• 单向重复精度，保证值

  ±1.5 mdeg, ±1.0 µm (linear)

  
  

• 双向重复精度，典型值

  ±1.3 mdeg

  
  

• 双向重复精度，保证值

  ±3.0 mdeg

  
  

• 双向重复精度，线性

  ±1.2 (typical) ±2.0 (guaranteed) µm

  
  

• 精度，典型值

  Rotary: ±10 mdeg - Linear: ±0.5 µm

  
  

• 精度，保证值

  Rotary: ±15 mdeg - Linear: ±2.0 µm

  
  

• 摆动，典型值

  ±22 µrad

  
  

• 摆动，保证值

  ±40 µrad

  
  

• 偏心率，典型值

  ±2.2 µm

  
  

• 偏心率，保证值

  ±4.0 µm

  
  

• 原点重复精度

  Rotary: ±7.5 mdeg
  Linear: ±2.5 µm

  
  

• MTBF

  20,000 h (25% load, 10% duty cycle)

  
  

• 电缆长度

  3 m  

  
  

• 孔径

  50 mm

  
  

• 螺纹类型

  M4

  
  

• 重量

  4.2 kg

  
  

• 顺应性

  RoHS 3, CE

  
  

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