NEWPORT 优铂特 ZVR-PP ZVR集成步进电机垂直和旋转位移台

NEWPORT   优铂特   ZVR-PP   ZVR集成步进电机垂直和旋转位移台

晶片定位位移台，集成垂直和步进电机旋转台

Newport的新型ZVR-PP是集成的Z垂直和Theta旋转定位台，设计用于精确地提升和旋转200毫米和/或300毫米直径的晶片卡盘。ZVR-PP在超薄的轮廓设计中提供了精确的10毫米垂直和连续360度角度行进。ZVR-PP的低质量和高固有频率，为快速步进和停留应用提供了平台。通过单点访问集成的真空和电线，以及三点安装接口，ZVR-PP为晶片定位等应用提供了方便、稳定和高性能的能力。有关ZVR-PP的完整规格，请参考数据表。有关ZVR-PP旋转和垂直运动能力的完整规格，请参考数据表。

参数

• 行程范围

  10 mm

  
  

• 角度范围

  360°

  
  

• 最大速度

  40°/s

  
  

• 最大线速度

  10 mm/s  

  
  

• 最小位移增量

  0.2 mdeg

  
  

• 最小位移增量，线性

  0.05 µm  

  
  

• 最大扭矩

  1 N·m

  
  

• 中心负载能力

  100 N

  
  

• 单向重复精度，典型值

  Rotary: ±1.0 mdeg - Linear: ±0.2 µm

  
  

• 单向重复精度，保证值

  Rotary: ±1.5 mdeg - Linear: ±1.0 µm

  
  

• 双向重复精度，典型值

  ±3.0 mdeg

  
  

• 双向重复精度，保证值

  ±6.0 mdeg

  
  

• 双向重复精度，线性

  ±1.2 (typical) ±2.0 (guaranteed) µm

  
  

• 精度，典型值

  Rotary: ±10 mdeg - Linear: ±0.5 µm

  
  

• 精度，保证值

  Rotary: ±17 mdeg - Linear: ±2.0 µm

  
  

• 摆动，典型值

  ±22 µrad

  
  

• 摆动，保证值

  ±40 µrad

  
  

• 偏心率，典型值

  ±2.2 µm

  
  

• 偏心率，保证值

  ±4.0 µm

  
  

• 原点重复精度

  Rotary: ±20 mdeg
  Linear :±2.5 µm

  
  

• MTBF

  20,000 h (25% load, 10% duty cycle)

  
  

• 电缆长度

  3 m  

  
  

• 孔径

  50 mm

  
  

• 螺纹类型

  M4

  
  

• 重量

  4.2 kg

  
  

• 顺应性

  RoHS 3, CE

  
  

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