HAMAMATSU滨松 C11295 膜厚测量系统
特点
- 可同时执行多达 15 个点的膜厚测定
- 无参考操作
- 通过校正光强度波动实现稳定的长期测量
- 警报和警告功能（通过/失败）
- 反射率（透射率）和光谱测量
- 高速度和高精度
- 实时测量
- 精确测量起伏不定的薄膜
- 分析光学常数（n、k）
- 提供外部控制
详细参数
| 型号 | C11295-XX*1 |
|---|---|
| 可测量的薄膜厚度范围（玻璃） | 20 nm 至 100 μm*2 |
| 测量重现性（玻璃） | 0.02 nm*3 *4 |
| 测量精度（玻璃） | ±0.4%*4 *5 |
| 光源 | 氙光源 *6 |
| 测量波长 | 320 nm 至 1000 nm |
| 光斑尺寸 | 约 φ1 mm*4 |
| 工作距离 | 10 mm*4 |
| 可测量层数 | 最多 10 层 |
| 分析 | FFT 分析、拟合分析 |
| 测量时间 | 19 ms/point*7 |
| 光纤连接器形状 | SMA |
| 测量点数 | 2 至 15 |
| 外部控制功能 | 以太网 |
| 接口 | USB 2.0（主机 - 计算机） RS-232C（光源 - 计算机） |
| 电源 | AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 2 通道时：大约 350 VA，15 通道时：约 500 VA |
*1：-XX 表示测量点的数量。
*2：当以玻璃折射率 1.5 进行转换时。
*3：测量 400 nm 厚玻璃膜时的标准偏差（容差）。
*4：取决于使用的光学系统或物镜放大率。
*5：VLSI 标准测量保证文件中记录的测量保证范围。
*6：卤素光源型号为 C11295-XXH。
*7：最短曝光时间。
尺寸
0755-83512170 手机/微信：13249819590 QQ：2577758288 邮箱:2577758288@qq.com
