NEWPORT 优铂特 MTN100PPV6 MTN 高载重钢电动线性位移台
电动线性位移台，不锈钢，步进电机，100mm行程，真空，M4&M6
MTN 100 PPV 6线性位移台采用全钢结构，将高刚度和热稳定性与低轮廓设计相结合。这个步进驱动版本有100 mm的行程和0.1 µm最小位移增量。MTN位移台可承受高达100 kg的重量，具有高达200 N的极高轴向载重能力。其特点包括:相对的单行轴承表面、经过金刚石修正的丝杠、匹配的精密研磨螺母和非移动滚珠保持架设计。螺母设计包括防反冲预加载和精密的解耦系统，确保很少甚至没有位移台移动。非迁移式球笼设计可防止垂直应用中的任何漂移。真空兼容至10-6 Torr。注意:由于各种馈通配置和 顾客偏好，位移台附带的电缆不是真空兼容的。请联系Newport，了解真空兼容电缆。
参数
行程范围
100 mm
最大速度
20 mm/s
最小位移增量
400 nm
中心负载能力
1000 N
轴向负载 (+Cx)
100 N
逆轴向负载能力 (-Cx)
-21 N
精度，典型值
±1.5 µm
精度，保证值
±2.5 µm
单向重复精度，典型值
±0.30 µm
单向重复精度，保证值
±0.75 µm
双向重复精度，典型值
±2.25 µm
双向重复精度，保证值
±2.75 µm
俯仰，典型值
±10 µrad
俯仰，保证值
±20 µrad
俯仰顺应性
6 µrad/Nm
偏摆，典型值
±10 µrad
偏摆，保证值
±17 µrad
偏摆顺应性
5 µrad/Nm
滚转顺应性
4 µrad/Nm
驱动方式
Stepper Motor
原点重复精度
±5 µm
电缆长度
3 m
真空兼容性
10-6 Torr
螺纹类型
M4 and M6
重量
14.2 kg
MTBF
20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
最大耗电量
10 W
顺应性
RoHS 3, CE
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