NEWPORT 优铂特 M-ILS50BPP ILS 中行程铝电动线性位移台
电动线性位移台，50mm行程，步进电机，M6
M-ILS50BPP微型步进驱动线性位移台具有50 mm的行程范围，并在高度刚性和坚固的包装中结合了快速的亚微米分辨率运动。它的带有公制螺纹孔的挤压铝本体已经过优化，以避免因铝本体和钢轨热膨胀系数不同而产生的弯曲效应。特殊的U形轮廓也为结构提供刚度，同时保持质量较低。预加载的无齿隙滚珠丝杠提供快速移动和快速步进和稳定时间。螺杆的外形精确，可将加热降至最低，并延长位移台的寿命。循环滚珠轴承滑座确保精确的直线运动，并消除在典型的直线滚珠轴承或交叉滚柱轴承上发现的滚珠保持架偏移。位置测量值由直接位于螺钉上的4000 pts/rev编码器读取，避免螺钉/电机耦合误差。上刚性盖防止损坏传动系，并保护传动系免受灰尘、碎屑和其他污染物的影响。ILS系列位移台还具有位于行程中心的原点，用于可重复初始化，限位开关用于防止过度行程，弹性行程末端减震器用于平稳紧急制动。
参数
行程范围
50 mm
最大速度
50 mm/s
最小位移增量
1000 nm
中心负载能力
250 N
轴向负载 (+Cx)
40 N
逆轴向负载能力 (-Cx)
-40 N
精度，典型值
±0.6 µm
精度，保证值
±1.5 µm
单向重复精度，典型值
±0.20 µm
单向重复精度，保证值
±0.50 µm
双向重复精度，典型值
±0.40 µm
双向重复精度，保证值
±1.0 µm
俯仰，典型值
±15 µrad
俯仰，保证值
±25 µrad
俯仰顺应性
10 µrad/Nm
偏摆，典型值
±12 µrad
偏摆，保证值
±25 µrad
偏摆顺应性
10 µrad/Nm
滚转顺应性
15 µrad/Nm
驱动方式
Stepper Motor
反馈
Rotary Encoder
原点重复精度
±0.5 µm
电缆长度
3 m
螺纹类型
M6
重量
4.2 kg
MTBF
20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
最大耗电量
40 W
顺应性
RoHS 3, CE
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