NEWPORT 优铂特 NPA50SGV6 真空兼容压电叠堆促动器

NEWPORT   优铂特      NPA50SGV6     真空兼容压电叠堆促动器

压电堆促动器，真空，0.05毫米行程范围，应变计

NPA50SGV6真空兼容的纳米定位压电堆栈促动器非常适合集成到定制的运动设备中。它在非常紧凑的外壳中提供了50um行程范围内的纳米分辨率和微秒级的响应时间。NPA系列促动器可以产生高达1000 N的力，这使其特别适用于机床，主动隔振或自适应结构。它们小尺寸和高谐振频率的特点适用于扫描显微镜，激光调谐和光束控制，膜片钳或微光刻应用。该闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动。此外，位置反馈补偿了促动器的蠕变。采用完整的惠斯通电桥设计进行组装，并且对温度不敏感。闭环设备可用于开环或闭环控制中。固定是通过压电促动器顶部和底部的M3螺纹完成的。像所有压电设备一样，应避免弯矩载荷和侧向力。提供平头扳手，并在固定螺丝时使用。真空兼容10-6 Torr。
与NPC3SG纳米定位放大器一起使用。

参数

• 行程范围

  0.05 mm  

  
  

• 轴向负载

  1000 N  

  
  

• 负载能力，拉力

  150 N  

  
  

• 轴向刚度

  20 N/µm  

  
  

• 电容

  5.4 µF

  
  

• 共振频率

  8000 Hz

  
  

• 闭环重复精度

  20 nm  

  
  

• 闭环分辨率

  1.0 nm  

  
  

• 开环分辨率

  0.1 nm  

  
  

• 闭环行程范围

  40 µm  

  
  

• 真空兼容性

  10-6 Torr

  
  

• 电缆长度

  2 m

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