NEWPORT 优铂特 RGA150 薄型大孔径直驱旋转平台

NEWPORT   优铂特   RGA150    薄型大孔径直驱旋转平台

电动旋转位移台，高速，薄款设计

RGA150 薄型和大孔径旋转载物台满足快速调整晶圆和真空吸盘角度的需求。 尽管 RGA150 专为半导体应用量身定制，但也可用于其他工业应用，例如通孔成像/检测或激光加工、自动化或任何需要快速定位的通用定位应用。

参数

• 角度范围

  360°

  
  

• 最大速度

  1800°/s

  
  

• 最小位移增量

  0.01 mdeg

  
  

• 峰值驱动扭矩

  11 Nm

  
  

• 中心负载能力

  50 N

  
  

• 双向重复精度，典型值

  ±0.0975 mdeg

  
  

• 精度，典型值

  ±4 mdeg

  
  

• 精度，保证值

  ±8 mdeg

  
  

• 摆动，典型值

  ±12 µrad

  
  

• 摆动，保证值

  ±26 µrad

  
  

• 偏心率，典型值

  ±0.5 µm

  
  

• 偏心率，保证值

  ±1 µm

  
  

• MTBF

  20,000 hours @ 30% duty cycle

  
  

• 电缆长度

  5 m

  
  

• 孔径

  90 mm

  
  

• 重量

  4.5 kg

  
  

• 顺应性

  RoHS 3, CE, UKCA

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