HAMAMATSU滨松 L15094 VUV 光源单元
详细参数
| 参数 | 描述 | 单位 | ||
|---|---|---|---|---|
| 窗材 | MgF2 | － | ||
| 光谱分布 | 115 至 400 | nm | ||
| 预热时间 | 25 ±5 | s | ||
| 光输出稳定性 | 波动 (p-p) | 最大值 | 0.05 | % |
| 偏差 | 最大值 | ±0.3 | %/h | |
| 保证光源寿命 (*1) | 1000 | h | ||
| 替换光源 | L15294 | － | ||
| 真空法兰 | － (*2) | － | ||
| 密封方法 | O 型圈 | － | ||
| 泄漏量 | 1 x 10-10 Pa m3/s (*3) | － | ||
| 输入电压（交流） | 100 V 至 240 V，单相 50 Hz / 60 Hz | － | ||
| 功耗 | 最大值 | 200 | VA | |
| 光源单元冷却方法 | 以风扇强制风冷 | － | ||
| 工作温度范围 | +10 至 +40 | ℃ | ||
| 储存温度范围 | 0 至 +60 | ℃ | ||
| 工作湿度范围 | 低于 80%（无冷凝） | － | ||
| 储存湿度范围 | 低于 85%（无冷凝） | － | ||
| 外部控制 | 照射控制、照射信号、各种报错信号 | － | ||
*1：寿命终止定义为 230 nm 的光输出低于其初始值的 50%，或光输出波动超过最大规格值。
请注意，光输出衰减在很大程度上取决于真空设备的状况。
*2：L15094 可以与下列相关产品的真空法兰一起使用。
有关如何将真空静电消除器安装到真空设备上的信息，请联系我们。
*3：使用氦气泄漏探测器测量的结果。
特性
中和性能（典型值）
中和时间与距离
中和时间与真空度
指向性（光分布）（典型值）
光辐照范围（典型值）
安装示例
外形尺寸图（单位：mm）
光源单元（重量：约 1.3 kg）
电源单元（重量：约 2.8 kg）
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