NEWPORT 优铂特 XMS100V 超高精度直接驱动垂直线性平移台

NEWPORT   优铂特   XMS100V    超高精度直接驱动垂直线性平移台

电动垂直位移台，超精密线性电机，100 mm，100N

XMS100V位移台包括安装在高平坦度（表面平坦度在5 µm以内）或支架上的标准XMS100位移台以及与滑架相连的低摩擦气缸。气缸与滑架的定制设计连接消除了气缸运动对XMS100位移台性能的影响。通过适当调节压力，可以实现负载的完美平衡。关闭电动机电源后，气缸的气门将使滑架受控下降，也可提供更紧凑但特定负载的磁性配重。请与内部销售支持团队联系，以讨论应用程序要求并获得最适合您需求的解决方案报价。

参数

• 行程范围

  100 mm  

  
  

• 最小位移增量

  0.05 µm

  
  

• 最大速度

  300 mm/s

  
  

• 中心负载能力

  100 N

  
  

• 精度，保证值

  ± 0.75 µm

  
  

• 双向重复精度，保证值

  ± 0.05 µm

  
  

• 限位开关

  Optical, fiducial on encoder

  
  

• 原点

  Optical, at center of travel, including mechanical zero signal

  
  

• 俯仰顺应性

  2.5 µrad/Nm  

  
  

• 滚转顺应性

  2.0 µrad/Nm  

  
  

• 偏摆顺应性

  3.5 µrad/Nm

  
  

• 直线度，平面度

  ± 0.75 µm

  
  

• 电缆长度

  5 m  

  
  

• 重量

  3.5 kg

  
  

• MTBF

  20,000 h

  
  

• 顺应性

  RoHS 3, CE

  
  

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