NEWPORT 优铂特 8081M-UHV 真空压电设备对准平台

NEWPORT   优铂特    8081M-UHV   真空压电设备对准平台

电动 XYZθxθy 倾斜对准位移台，超高真空，M6

8081M-UHV XYZθxθy 电动五轴倾斜对准位移台通过电动控制每个轴来增加常见运动平台的实用性，现在可以用于UHV环境（10-9 Torr）以及用于VUV/EUV应用。每个平台的Picomotor™驱动器，可以对X, Y, Z, θx和θy的各种组合实现优于<30 nm远程高分辨率调整。它具有最小的反冲，因此具有优秀的长期稳定性和高刚度。对8081-UHV进行了测试和测量，85 ℃下3小时内挥发物水平低于挥发性物质的5ppm。可根据要求提供详细的挥发化合物的质谱图。 M4和M6螺纹孔。 与一根8081-UHV-C电缆，两个8725多轴适配器和两个8742控制器/驱动器一起使用，以控制所有的5个轴。

参数

• 位移轴

  X, Y, Z, θx, θy

  
  

• 机制

  Kinematic

  
  

• 驱动方式

  Picomotor

  
  

• 行程范围

  3 mm  

  
  

• 角度范围

  θx=8°, θy=10°

  
  

• 负载

  13 N  

  
  

• 最小位移增量

  <30 nm

  
  

• 角分辨率

  θx, θy≤0.7 µrad

  
  

• 真空兼容性

  10-9 Torr

  
  

• 线缆类型

  Kapton® Ribbon Ultrahigh Vacuum Rated

  
  

• 连接器类型

  DB15 Female

  
  

• 工作温度

  10 to 40°C

  
  

• 螺纹类型

  M4 and M6

0755-83512170 手机/微信：13249819590  QQ：2577758288  邮箱:2577758288@qq.com